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    電子面板、半導體行業氣態污染物AMC解決方案

    發布日期:2021-07-23 14:54:23
    信息摘要:
    對于半導體制造行業,在制造過程中,高端電氣部件非常容易受到污染。即使是非常少的污染也會導致在接觸周邊空氣時產生腐蝕和氧化。實際上,計算機部件受到的威脅比人類更大,...
    隨著半導體制程技術的飛速發展,芯片線寬已經進入納米級,相應的產品對半導體產品生產環境的要求越來越高,因此半導體潔凈室內AMC的控制標準也提高了很多。
    1、潔凈室新風控制:在MAU內加裝化學過濾器,控制室外新風中的化學污染物;
    2、潔凈室循環風控制:在FFU上方加裝化學過濾器,控制整個潔凈室內部的氣態化學污染物;
    3、潔凈室機臺控制:在生產機臺上方加裝化學過濾器,機臺內部空間超潔凈度的氣態污染物控制。
    電子面板、半導體行業氣態污染物AMC解決方案
    電子面板、半導體行業氣態污染物AMC解決方案

    編號

    應用場地

    可選裝置

    功能

    新風入口處

    側開式凈化機組

    去除外部環境進入潔凈室的AMC

    空調機組內

    HJ氣相過濾器

    去除外部環境和回風進入潔凈室的AMC

    FFU處

    HJ氣相過濾器

    去除送風過程進入潔凈室的AMC

    潔凈室內

    內循環凈化裝置

    去除潔凈室內產生的AMC

    回風段

    HJ氣相過濾器/側開式凈化機組

    去除潔凈室回風段含有的AMC

     
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